40 CFR Appendix Table I-19 to Subpart I of Part 98 - Reference Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 150 mm and 200 mm Wafer Sizes
Table I-19 to Subpart I of Part 98—Reference Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 150 mm and 200 mm Wafer Sizes
Table I-19 to Subpart I of Part 98—Reference Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 150 mm and 200 mm Wafer Sizes
| Process type/sub-type | Process gas i | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CF |
C |
CHF |
CH
|
C |
CH
|
C |
C |
NF |
SF
|
C |
C |
C |
|
|
|
|||||||||||||
| 1-U |
0.73 | 0.46 | 0.31 | 0.37 | 0.064 | 0.66 | NA | 0.21 | 0.20 | 0.55 | 0.086 | 0.072 | NA |
| BCF |
NA | 0.20 | 0.10 | 0.031 | 0.077 | NA | NA | 0.17 | 0.0040 | 0.023 | 0.0089 | NA | NA |
| BC |
0.029 | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.065 | NA | NA | 0.045 | 0.014 | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.016 | NA | NA | NA | NA | NA |
| BCHF |
0.13 | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.0039 | NA |
|
|
|||||||||||||
|
|
|||||||||||||
| 1-U |
0.92 | 0.55 | NA | NA | NA | NA | 0.40 | 0.10 | 0.18 | NA | NA | NA | 0.14 |
| BCF |
NA | 0.19 | NA | NA | NA | NA | 0.20 | 0.11 | 0.14 | NA | NA | NA | 0.13 |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.045 |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
|
|
|||||||||||||
| 1-U |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.028 | NA | NA | NA | NA |
| BCF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.015 | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
|
|
|||||||||||||
| 1-U |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BCF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
[89 FR 31923, Apr. 25, 2024]