40 CFR Appendix Table I-3 to Subpart I of Part 98 - Default Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 150 mm and 200 mm Wafer Sizes
Table I-3 to Subpart I of Part 98—Default Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 150 mm and 200 mm Wafer Sizes
Table I-3 to Subpart I of Part 98—Default Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 150 mm and 200 mm Wafer Sizes
| Process type/sub-type | Process gas i | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CF |
C |
CHF |
CH
|
C |
CH
|
C |
C |
NF |
SF
|
C |
C |
C |
|
|
|
|||||||||||||
| 1-U |
0.73 | 0.72 | 0.51 | 0.13 | 0.064 | 0.70 | NA | 0.14 | 0.19 | 0.55 | 0.083 | 0.072 | NA |
| BCF |
NA | 0.10 | 0.085 | 0.079 | 0.077 | NA | NA | 0.11 | 0.0040 | 0.13 | 0.095 | NA | NA |
| BC |
0.041 | NA | 0.035 | 0.025 | 0.024 | 0.0034 | NA | 0.037 | 0.025 | 0.11 | 0.073 | 0.014 | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BCHF |
0.091 | 0.047 | NA | 0.049 | NA | NA | NA | 0.040 | NA | 0.0012 | 0.066 | 0.0039 | NA |
|
|
|||||||||||||
|
|
|||||||||||||
| 1-U |
0.92 | 0.55 | NA | NA | NA | NA | 0.40 | 0.10 | 0.18 | NA | NA | NA | 0.14 |
| BCF |
NA | 0.19 | NA | NA | NA | NA | 0.20 | 0.11 | 0.14 | NA | NA | NA | 0.13 |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.045 |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
|
|
|||||||||||||
| 1-U |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.028 | NA | NA | NA | NA |
| BCF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.015 | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.5 | NA | NA | NA | NA |
|
|
|||||||||||||
| 1-U |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BCF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
Notes: NA = Not applicable; i.e., there are no applicable default emission factor measurements for this gas. This does not necessarily imply that a particular gas is not used in or emitted from a particular process sub-type or process type.
[89 FR 31920, Apr. 25, 2024]