40 CFR Appendix Table I-4 to Subpart I of Part 98 - Default Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 300 mm and 450 mm Wafer Size
Table I-4 to Subpart I of Part 98—
Default Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 300 mm and 450 mm Wafer Size
Table I-4 to Subpart I of Part 98—Default Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 300 mm and 450 mm Wafer Size
| Process type/sub-type | Process gas i | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CF |
C |
CHF |
CH |
CH |
C |
C |
NF |
SF |
C |
C |
C |
|
|
|
||||||||||||
| 1-U |
0.65 | 0.80 | 0.37 | 0.20 | 0.30 | 0.30 | 0.18 | 0.16 | 0.30 | 0.15 | 0.10 | NA |
| BCF |
NA | 0.21 | 0.076 | 0.060 | 0.0291 | 0.21 | 0.045 | 0.044 | 0.033 | 0.059 | 0.11 | NA |
| BC |
0.058 | NA | 0.058 | 0.043 | 0.009 | 0.018 | 0.027 | 0.045 | 0.041 | 0.062 | 0.083 | NA |
| BC |
0.0046 | NA | 0.0027 | 0.054 | 0.0070 | NA | NA | NA | NA | 0.0051 | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.00012 | NA |
| BCHF |
0.012 | NA | NA | 0.057 | 0.016 | 0.012 | 0.028 | 0.023 | 0.0039 | 0.017 | 0.0069 | NA |
| BCH |
0.005 | NA | 0.0024 | NA | 0.0033 | NA | 0.0021 | 0.00074 | 0.000020 | 0.000030 | NA | NA |
| BCH |
0.0061 | NA | 0.027 | 0.0036 | NA | 0.00073 | 0.0063 | 0.0080 | 0.0082 | 0.00065 | NA | NA |
|
|
||||||||||||
|
|
||||||||||||
| 1-U |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.20 | NA | NA | NA | NA |
| BCF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.037 | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
|
|
||||||||||||
| 1-U |
NA | NA | NA | NA | NA | 0.063 | NA | 0.018 | NA | NA | NA | NA |
| BCF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.037 | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BCHF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.000059 | NA | NA | NA | NA |
| BCH |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.00088 | NA | NA | NA | NA |
| BCH |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.0028 | NA | NA | NA | NA |
| BF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.5 | NA | NA | NA | NA |
|
|
||||||||||||
| 1-U |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.28 | NA | NA | NA | NA |
| BCF |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.010 | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
| BC |
NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
Notes: NA = Not applicable; i.e., there are no applicable default emission factor measurements for this gas. This does not necessarily imply that a particular gas is not used in or emitted from a particular process sub-type or process type.
[89 FR 31921, Apr. 25, 2024]